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MEMS器件最常見的四大分類

時間:2019-01-30 13:53:57來源:網絡 作者:admin 點擊:
MEMS器件體積小,重量輕,耗能低,慣性小,諧振頻率高,響應時間短。MEMS系統與一般的機械系統相比,不僅體積縮小,而且在力學原理和運動學原理,材料特性、加工、測量和控

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